多晶矽還原爐體及鍾罩幹式清理系統

一、系統概述
 
多晶矽還原爐體及鍾罩幹式清理系統適用矽烷法多晶矽生產工藝，用于還原車間反應釜中矽汙染物附着力不大的工況條件下無汙染幹式清洗。清洗時利用上下移動和旋轉機構帶動高壓氣體噴吹以及特殊旋轉刷組合機構近距離對反應釜表面進行噴吹和接觸式清掃達到清洗的目的。通過清洗旋轉調速機構可滿足各工況的要求。清洗的同時采用特殊除塵淨化器一次性進行除塵淨化。

二、系統特點

1、裝置爲移動單元式結構；

2、淨化後的空氣可達到10萬級的淨化精度可完全在室內排放；

3、采用全封閉幹式的清洗方式確保對環境不出現二次汙染；

4、電氣設計按隔爆的各項要求執行、 設備設有靜電導出裝置；

5、控制方式可爲全自動或手動控制；

6、運行總功率小，噪聲低。
 
三、清掃工藝

反應釜吊裝至清洗台上→定位→連接→啓動淨化器→啓動旋轉→上下移動機構→高壓氣體沿壁噴吹→旋轉刷至上而下接觸移動清掃→淨化氣體置換→反應釜吊起→檢查。

四、設備組成

主要由清洗平台、氣體噴吹裝置、吸塵輸送管道、控制閥門、動力機構、清洗機構、各管道快速接頭、除塵淨化器、電氣控制系統等組成。

主要部件采用進口零部件，確保運行可靠穩定、使用周期長。操作維修簡單。